瀚笙科技:專注於太陽能、再生能源、光電子技術及半導體市場,以革新、整合、解決為企業經營理念
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首頁 > 產品介紹 > 晶圓製程
 

• 廠商簡介:
瑞商Evatec 公司是一個全球知名領導品牌製造供應商,專精於半導體與光學薄膜沉積鍍膜設備及製程之研發與製造。生產廣受好評的BAK 蒸鍍沉積與蝕刻設備以及MSP Sputter Tool 與 Radiance cluster 濺鍍機系統,成功幫助製造商生產出世界上最先進的半導體晶片,光學濾膜與鏡片。

• 產品:
-BAK系列蒸鍍機( 最新應用: LED back side reflector & DBR deposition)
-MSP sputter 與Radiance Cluster系列濺鍍機(最新應用: LED ITO & DBR deposition)
-系統零組件供應與舊機升級翻新

• 廠商簡介:
法商CORIAL 公司是一個具備製程技術,專精於設計與製造電漿蝕刻與薄膜沉積系統之設備供應商。運用創新的解決方案致力於 半導體、光電、發光二極體、有機發光顯示器與微機電產業。

• 產品:
-200 Series  ICP, RIE, PECVD, ICPCVD, DECR
-300 Series  RIE, PECVD, ICP (Corial 300 IL especially for PSS)

• 廠商簡介:
提供TLS-Wafer Dicing設備能夠切開dies不造損傷, 並且將dicing streets 減少到最小。

 

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