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SolR 產品介紹

在2009年LayTec推出了它的第一台針對薄膜太陽能面板應用的線上監控系統—SoIR。
SolR提供獨特的量測方法監控薄膜太陽能面板各膜層的製程，大幅改善了傳統離線或分離式的取樣量測方法。它是個在線量測系統可以經由整個太陽能電池的製程量測出各膜層(透明導電層 TCO、半導體吸收Absorber與緩衝層 Buffer Layer)的特性與厚度。

Fig. 1: optical head of SolR on a roll-to-roll deposition system for monitoring of the CIGS thickness

SolR 提供在線獲取重要薄膜製程參數的方法：
• 在線所有膜層膜厚的量測含括半導體層、介電層、有機層等
• 透明導電層導電膜紋
• 分離薄膜的折射率和氮化矽層的厚度
• 線上製程均質性檢驗
• c-Si, poly-Si and TCO 粗糙度與質地解析
• 在線TCOs 膜層的霧化量測

目前該公司與眾多夥伴針對整個太陽能面板薄膜製程範圍進一步合作開發邊緣切割原位與在線量測解決方案。藉由我們的薄膜太陽能電池在線產品，生產商可意識到很多好處：生產異常很快的被識別與矯正、產品開發程序加快、新產線的轉移或施作建立的製程更便利且再設備維護後相關製程條件更容易被重建。這一切意味著更大的產量和降低成本—是現今太陽能電池生產的最重要因素！